该厂为89英寸晶圆产量线设施的超超纯水系统，日常会产生含硅生活污水150吨。生活污一般的水都虽无高价属，但硅分子量高易结渣，且电阻功率率需到达18MΩ·cm才可以重工业废水进行处理。同一进行处理工学院艺是无法能够满足新施行的《电商重工业水严重挥发性有机物尾气尾气排放标准的标准的标准》（GB39731-2020）越来越尾气尾气排放标准的标准规定值。 废水处理方法组成成分优势 其主要感染物 ：溶液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（粒度0.1-1μm） 专项 要 ：TOC<10μg/L，硼成分<5μg/L 污水水质特征参数 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机物形状多样化 加工处理工艺设计步骤流程 创新性利用"梯级膜剥离 +电去亚铁离子"组和方法： 微滤预操作 ：1μm瓷砖膜短信拦截大颗粒物硅，通量持续80LMH 化合物对调硅橡胶 ：D201大孔不饱和树脂挑选性树脂吸附硅酸碳原子 一级RO系统性 ：第1 段收集率60%，2.段运用高脱硼膜电子器件 EDI电去铁离子 ：交流电溶解度2A/m²，长期去掉多余铁离子 红外光谱消毒 ：254nm红外光谱线含水量40mJ/cm² 技木重点 建设上用阻硅剂（有机会胺类分手后复合物），廷缓膜弄脏周期性3倍 EDI功能全新流道设汁，硅洗去率不断提升至99.8% 在线平台硅解析仪（在线测量范畴0.1-500μg/L）抑制精准服务抑制 工作取得的成绩 经第四方在线检测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降落到0.3μg/L 系统软件收废率从原40%加快至68% 膜换掉定期延缓至5年，年运营生产成本减小35%