该晶圆手工产生厂家坐落于西北城市,主耍产生8英尺半导体行业晶圆,平均废液污染物量约800吨。伴随产生方式中操作过多氢氧化钠完成晶圆蚀刻,导至废液中氟化物浓度值达到了200-300mg/L,远超发达国家污染物的标准(10mg/L下面的)。
焦化废水化学成分及主要来源
工业废水主要的位于六个重要环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高溶度氟化物(HF)、氯化铵及一定量血本属
生物学机械设备制造拋光(CMP)焦化废水
:含奈米级硅粒子、有机质络合剂
机擦洗电镀废水
:含异丙醇、化学需氧量等充分物
操作工艺设备程序
所采用"生物学乳浊液+沥青混凝土乳浊液+长度过滤程序"三级分销办理系统软件:
两级外理
:加药系统氯化钙和氢氧化的钙,造成氟化钙悠长岁月中,氟化物除去率达85%
三级正确处理
:插入PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),清除悬浊液态环境污物
三阶段除理
:完成多媒介滤出器和渗透性炭树脂吸附,满水后氟化物质量浓度比较稳定在8mg/L一下
关键所在机械设备例如:pH电脑自动调控系统性、斜管沉定池、板框厢式压滤机(厌氧颗粒污泥过滤)。
最中结果
楼盘启动3年监测的数据的数据出现:
氟化物年均浓度值:7.2mg/L(如果低于地方标准规定)
COD除掉率:92%
活性污泥含水分率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副设备约150吨,达到資源化借助