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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆手工产生厂家坐落于西北城市,主耍产生8英尺半导体行业晶圆,平均废液污染物量约800吨。伴随产生方式中操作过多氢氧化钠完成晶圆蚀刻,导至废液中氟化物浓度值达到了200-300mg/L,远超发达国家污染物的标准(10mg/L下面的)。 焦化废水化学成分及主要来源 工业废水主要的位于六个重要环节: 晶圆蚀刻工艺流程 :含高溶度氟化物(HF)、氯化铵及一定量血本属 生物学机械设备制造拋光(CMP)焦化废水 :含奈米级硅粒子、有机质络合剂 机擦洗电镀废水 :含异丙醇、化学需氧量等充分物 操作工艺设备程序 所采用"生物学乳浊液+沥青混凝土乳浊液+长度过滤程序"三级分销办理系统软件: 两级外理 :加药系统氯化钙和氢氧化的钙,造成氟化钙悠长岁月中,氟化物除去率达85% 三级正确处理 :插入PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),清除悬浊液态环境污物 三阶段除理 :完成多媒介滤出器和渗透性炭树脂吸附,满水后氟化物质量浓度比较稳定在8mg/L一下 关键所在机械设备例如:pH电脑自动调控系统性、斜管沉定池、板框厢式压滤机(厌氧颗粒污泥过滤)。 最中结果 楼盘启动3年监测的数据的数据出现: 氟化物年均浓度值:7.2mg/L(如果低于地方标准规定) COD除掉率:92% 活性污泥含水分率:≤65% 年回收分类处理氟化钙副设备约150吨,达到資源化借助

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